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一种钙钛矿退火结晶用冷却装置
申请人信息
- 申请人:苏州材装半导体设备有限公司
- 申请人地址:215000 江苏省苏州市常熟经济技术开发区永嘉路99号常熟滨江国际贸易中心1幢201
- 发明人: 苏州材装半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种钙钛矿退火结晶用冷却装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420853569.1 |
| 申请日 | 2024/4/23 |
| 公告号 | CN222108448U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | H10K71/40 |
| 权利人 | 苏州材装半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 请求不公布姓名; 请求不公布姓名; 请求不公布姓名 |
| 地址 | 江苏省苏州市常熟经济技术开发区永嘉路99号常熟滨江国际贸易中心1幢201 |
摘要文本
本实用新型涉及一种钙钛矿退火结晶用冷却装置，其包括第一载体，所述第一载体内部设置有至少两组冷却流道，至少两组所述冷却流道相互独立，且其内部均填充有能够流动的冷却介质；所述冷却流道沿第一方向排列，在所述第一方向上相邻的两组所述冷却流道内部的冷却介质的流动方向相反；本实用新型设置互不连通的多组冷却流道，且各组进液口、出液口和流道本体均各自独立进行液冷循环和温度控制；减少产品各个区域的温度差异，实现均匀的冷却效果，进而控制结晶均匀和结晶一致性。
专利主权项内容
1.一种钙钛矿退火结晶用冷却装置，其特征在于，包括，
第一载体，所述第一载体内部设置有至少两组冷却流道，至少两组所述冷却流道相互独立，且其内部均填充有能够流动的冷却介质；所述冷却流道沿第一方向排列，在所述第一方向上相邻的两组所述冷却流道内部的冷却介质的流动方向相反。