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一种引弧点火装置及纳米材料制作设备
申请人信息
- 申请人:嘉兴岱源真空科技有限公司
- 申请人地址:314100 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路11号518室
- 发明人: 嘉兴岱源真空科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种引弧点火装置及纳米材料制作设备 |
| 专利类型 | 发明授权 |
| 申请号 | CN201711241392.0 |
| 申请日 | 2017年11月30日 |
| 公告号 | CN107881478B |
| 公开日 | 2024年2月27日 |
| IPC主分类号 | C23C14/35 |
| 权利人 | 嘉兴岱源真空科技有限公司 |
| 发明人 | 毕凯 |
| 地址 | 浙江省嘉兴市嘉善县罗星街道归谷二路11号518室 |
摘要文本
一种纳米材料制作设备及纳米材料制作设备，由于在拉杆与连接杆之间设计了四连杆结构，点火完成后推动拉杆，可使得连接杆与拉杆平行，点火针的末端脱离靶台的溅射范围，因此在点火针的末端不会形成球状的原子球，提高了点火针的点火成功率，不需要定时清除原子球；另外，点火针长时间工作后产生损耗变短后，可进一步拉动拉杆，连接杆转动，可使得点火针靠近靶台，因此无需频繁更换点火针，减少了点火针的浪费。
专利主权项内容
1.一种纳米材料制作设备，其特征在于：所述纳米材料制作设备包括磁控靶及引弧点火装置，所述磁控靶的最外侧具有靶台, 所述引弧点火装置包括拉杆、杆套、四连杆结构、连接杆及点火针，所述拉杆位于杆套内，所述拉杆通过四连杆结构与连接杆连接，所述连接杆的第一端与点火针连接，所述四连杆结构包括延伸杆及短连杆，所述延伸杆与杆套连接，所述连接杆的第二端与延伸杆的末端转动连接，所述短连杆的第一端与拉杆转动连接，第二端与连接杆的中部转动连接，所述连接杆连接短连杆的连接点与连接杆的第一端之间的第一距离大于连接点与连接杆的第二端之间的第二距离, 所述延伸杆与靶台之间的垂直距离大于点火针的长度，所述引弧点火装置位于磁控靶的下方，所述拉杆远离连接杆的一端设有手柄。