← 返回列表
一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置
申请人信息
- 申请人:南京晶升装备股份有限公司
- 申请人地址:210046 江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧
- 发明人: 南京晶升装备股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420458248.1 |
| 申请日 | 2024/3/11 |
| 公告号 | CN222111287U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B01D46/58 |
| 权利人 | 南京晶升装备股份有限公司 |
| 发明人 | 李辉; 毛瑞川; 丁柏松; 汪能超 |
| 地址 | 江苏省南京市经济技术开发区红枫科技园B4栋西侧 |
摘要文本
本实用新型涉及碳化硅材料晶体镀膜领域，具体涉及一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置。该实用新型包括气体冷却器、颗粒物过滤器。相较于现有技术，本实用新型通过密封圈连接气体冷却器和颗粒物过滤器连接，结构更加紧凑，同时减少了连接点使得系统漏点大幅减少，拆卸维护也极为方便；气体冷却器采用双层盘管结构，保证了气体流道畅通，有利于大流量气体冷却；气体冷却器主体采用圆筒形结构，便于打扫清理。
专利主权项内容
1.一种碳化硅外延设备工艺排气冷却过滤装置，其特征在于，包括相互对接的气体冷却器(1)及过滤器(2)；所述气体冷却器(1)包括冷却器主体(3)、位于冷却器主体(3)中心的气体导管(7)、套设于气体导管(7)的盘管(4)、与冷却器主体(3)连接的圆环(8)，第一法兰(5)中心设有与冷却器主体(3)直径相同的第一圆孔，第一圆孔内设有气体导管(7)；环形法兰(6)中心设有与气体导管(7)内直径相同的第二圆孔；盘管(4)的顶部容纳在圆环(8)中并且圆环(8)内侧抵靠盘管(4)，圆环(8)上端与冷却器主体(3)顶部连接；所述过滤器(2)包括过滤器主体(15)、设于过滤器主体(15)内的空心圆柱滤芯(14)；气体冷却器(1)与过滤器(2)之间夹有密封圈(11)。