← 返回列表
污氩气排放联锁控制系统及氩气回收装置
申请人信息
- 申请人:四川永祥光伏科技有限公司
- 申请人地址:614802 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号
- 发明人: 四川永祥光伏科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 污氩气排放联锁控制系统及氩气回收装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420194842.4 |
| 申请日 | 2024/1/26 |
| 公告号 | CN222111352U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B01D53/00 |
| 权利人 | 四川永祥光伏科技有限公司 |
| 发明人 | 徐凌海; 贺利强; 童斌; 郭文奇; 陈杜秋; 高强; 侯光廷; 胡楚汉; 周洪富 |
| 地址 | 四川省乐山市五通桥区金粟镇十字街8号 |
摘要文本
本实用新型提供了一种污氩气排放联锁控制系统及氩气回收装置，涉及单晶制造技术领域，该系统包括：在线分析设备、污氩气放空调节阀和DCS控制系统，在线分析设备的输出端电性连接DCS控制系统的输入端，DCS控制系统的输出端电性连接污氩气放空调节阀的控制端；在线分析设备包括粗氩气氧含量分析仪、污氩气氮氢含量分析仪、污氩气排放压力检测器、冷凝蒸发器温度检测器和冷凝蒸发器氮含量分析仪；污氩气放空调节阀与精馏塔的顶部连接，用于排放污氩气；精馏塔包括冷凝蒸发器；DCS控制系统用于根据在线分析设备反馈的数据，自动地调节污氩气放空调节阀的开度，有效保证了液氩和产品气的纯度，提高了氩气回收装置对粗氩气中Ar的回收率。
专利主权项内容
1.一种污氩气排放联锁控制系统，其特征在于，包括在线分析设备、污氩气放空调节阀和DCS控制系统，所述在线分析设备的输出端电性连接所述DCS控制系统的输入端，所述DCS控制系统的输出端电性连接所述污氩气放空调节阀的控制端；
所述在线分析设备包括粗氩气氧含量分析仪、污氩气氮氢含量分析仪、污氩气排放压力检测器、冷凝蒸发器温度检测器和冷凝蒸发器氮含量分析仪；
所述污氩气放空调节阀与精馏塔的顶部连接，用于排放污氩气；所述精馏塔包括冷凝蒸发器；
所述DCS控制系统用于根据所述在线分析设备反馈的数据，自动地调节所述污氩气放空调节阀的开度。