一种硅烷流化床尾气吸附装置
申请人信息
- 申请人:江苏中能硅业科技发展有限公司
- 申请人地址:221132 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号
- 发明人: 江苏中能硅业科技发展有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种硅烷流化床尾气吸附装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420658914.6 |
| 申请日 | 2024/4/2 |
| 公告号 | CN222111369U |
| 公开日 | 2024/12/6 |
| IPC主分类号 | B01D53/04 |
| 权利人 | 江苏中能硅业科技发展有限公司 |
| 发明人 | 朱言志; 常露露; 宋洁玉; 朱帅; 姜从强 |
| 地址 | 江苏省徐州市徐州经济技术开发区杨山路66号 |
摘要文本
本实用新型公开了一种硅烷生产技术领域的硅烷流化床尾气吸附装置，旨在解决现有技术中吸附塔解析效率和灵活性较差操作复杂的问题。其包括：通过吸附塔的相互首尾串联，通过气相检测系统检测每个吸附塔的定性和定量信息选择需要解析的待解析吸附塔，通过控制阀的开闭隔离需要解析的吸附塔，吸附塔完成解析后并入串联环路中，通过调整控制阀的开闭使不同工作效率的吸附塔处于最佳尾气处理顺序，提高了吸附塔的解析效率，且处理更灵活；通过阀门控制系统控制各个控制阀，解决吸附塔再生时人员误操作等问题，进而提高了吸附塔的升温降温处理效率；气相检测系统对吸附塔的监控配合多个阀门的控制，便于对整个硅烷流化床尾气吸附装置进行保护。
专利主权项内容
1.一种硅烷流化床尾气吸附装置，其特征在于，包括，
至少两个吸附塔(90)，相邻所述吸附塔(90)的出口与进口通过串联管路依次串联，首个所述吸附塔(90)的进口与末尾所述吸附塔(90)的出口也通过串联管路连通，每条所述串联管路通过串联控制阀控制；
所述吸附塔(90)的进口均与尾气进口管路(21)连通，每个所述吸附塔(90)的进口分别通过尾气进口控制阀独立控制；
所述吸附塔(90)的出口均与尾气出口管路(22)连通，每个所述吸附塔(90)的出口分别通过尾气出口控制阀独立控制；
所述吸附塔(90)的出口均与温控气体进口管路(23)连通，每个所述吸附塔(90)的出口分别通过温控气体进口控制阀独立控制；
所述吸附塔(90)的塔顶均与温控气体出口管路(24)连通，每个所述吸附塔(90)的塔顶分别通过温控气体出口控制阀独立控制；
还包括阀门控制系统，所有控制阀均为电磁阀，阀门控制模块与所有控制阀电信号连接；还包括与所述阀门控制模块电信号连接的气相检测系统，所述气相检测系统与所述吸附塔(90)连接，用于获取每个所述吸附塔(90)的定性与定量分析结果。