离子风扇的检测电路、离子风扇系统和化学气相沉积系统

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芯联集成电路制造股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供一种离子风扇的检测电路、离子风扇系统和化学气相沉积系统，检测电路包括电源、报警器和检测元件，检测元件包括第一导体和第二导体，第一导体靠近离子风扇的进风口设置，第二导体设置于第一导体背向进风口的一侧；其中，在离子风扇处于正常工作状态时，第一导体受进风口的风力作用与第二导体之间存在间隔，以使检测电路断路；在离子风扇处于异常工作状态时，第一导体脱离进风口的风力作用并与第二导体相接触，以使检测电路导通。本申请无需人员定期去检查离子风扇的状态，在离子风扇处于异常工作状态时，电源可以正常对报警器供电，以使报警器发出报警信号，从而及时提醒人员离子风扇出现异常。