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一种炉管的真空抽气系统、以及半导体制造设备
申请人信息
- 申请人:浙江创芯集成电路有限公司
- 申请人地址:311200 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号
- 发明人: 浙江创芯集成电路有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种炉管的真空抽气系统、以及半导体制造设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420429088.8 |
| 申请日 | 2024/3/6 |
| 公告号 | CN222104407U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | F27D7/06 |
| 权利人 | 浙江创芯集成电路有限公司 |
| 发明人 | 李嵘; 方文章; 谢为斯 |
| 地址 | 浙江省杭州市萧山区经济技术开发区建设三路733号 |
摘要文本
浙江创芯集成电路有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本申请实施例提供了一种炉管的真空抽气系统、以及半导体制造设备，所述炉管的真空抽气系统包括：连接于炉管的真空抽气接口的第一管道，以及第二管道；与第一管道连接的至少一个主真空泵；与第二管道连接，在所述主真空泵异常时启用的至少一个备用真空泵；与所述主真空泵和所述备用真空泵相电气连接的控制器。本申请实施例提供的炉管的真空抽气系统，为保障炉管的正常工作提供基础，提高了炉管的工作效率。
专利主权项内容
1.一种炉管的真空抽气系统，其特征在于，所述真空抽气系统包括：
连接于炉管的真空抽气接口的第一管道，以及第二管道；
与第一管道连接的至少一个主真空泵；
与第二管道连接，在所述主真空泵异常时启用的至少一个备用真空泵；
与所述主真空泵和所述备用真空泵相电气连接的控制器；
连接于所述第一管道和所述主真空泵之间，且开关状态受所述控制器控制的第一开关装置；
连接于所述第二管道和所述备用真空泵之间，且开关状态受所述控制器控制的第二开关装置；
其中，所述控制器的信号接口包括：接收主真空泵的工作状态信号的第一接口，输出第一开关装置的开关状态控制指令的第二接口，以及，输出第二开关装置的开关状态控制指令的第三接口；通过所述控制器的信号接口，所述控制器接收主真空泵的状态信号，在主真空泵出现异常时，控制切换备用真空泵。。