重复定位精度测量装置及光学检测设备
申请人信息
- 申请人:浙江晶盛机电股份有限公司; 浙江求是半导体设备有限公司
- 申请人地址:312300 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号
- 发明人: 浙江晶盛机电股份有限公司; 浙江求是半导体设备有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 重复定位精度测量装置及光学检测设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420837457.7 |
| 申请日 | 2024/4/22 |
| 公告号 | CN222104584U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | G01B5/00 |
| 权利人 | 浙江晶盛机电股份有限公司; 浙江求是半导体设备有限公司 |
| 发明人 | 朱亮; 王悦; 陈淑楠; 张永龙 |
| 地址 | 浙江省绍兴市上虞区通江西路218号; 浙江省杭州市临平区临平街道顺达路500号1幢102室 |
摘要文本
浙江晶盛机电股份有限公司; 浙江求是半导体设备有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种重复定位精度测量装置及光学检测设备，涉及晶圆的检测技术领域。该重复定位精度测量装置包括支撑架、位置调节机构和检测组件；位置调节机构通过支撑架架设于待测件的上方，位置调节机构包括Y向调整基板和三个X向调整基板，三个X向调整基板分别与Y向调整基板可移动连接，以使三个X向调整基板在Y向调整基板上的位置均可调。检测组件包括三个检测件，三个检测件一一对应地可移动设置于三个X向调整基板上，以使三个检测件能分别位于第一测量点的上方、第二测量点的上方和第三测量点的上方，待测件上升能使三个检测件分别与第一测量点、第二测量点和第三测量点接触，以对测量平面的重复定位精度进行检测。
专利主权项内容
1.重复定位精度测量装置，用于检测待测件的重复定位精度，其特征在于，所述待测件的承载面上设置有至少三个测量点，至少三个所述测量点包括第一测量点、第二测量点和第三测量点，所述第一测量点、所述第二测量点和所述第三测量点形成一个测量平面；所述重复定位精度测量装置包括：
支撑架(1)；
位置调节机构(2)，通过所述支撑架(1)架设于所述待测件的上方，所述位置调节机构(2)包括Y向调整基板(21)和三个X向调整基板，三个所述X向调整基板分别与所述Y向调整基板(21)可移动连接，以使三个所述X向调整基板在所述Y向调整基板(21)上的位置均可调；
检测组件，包括三个检测件，三个所述检测件一一对应地可移动设置于三个所述X向调整基板上，以使三个所述检测件能分别位于所述第一测量点的上方、所述第二测量点的上方和所述第三测量点的上方，所述待测件上升能使三个所述检测件分别与所述第一测量点、所述第二测量点和所述第三测量点接触，以对所述测量平面的重复定位精度进行检测。