← 返回列表
一种取片器氮气流量检测的切换装置
摘要文本
上海晶盟硅材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及取片器技术领域,具体地说是一种取片器氮气流量检测的切换装置。包括气体管道、取片器,所述的气体管道一端连接氮气源,气体管道另一端连接取片器,氮气源与取片器之间的气体管道上设有切换装置,所述的切换装置包括机械流量计、电子流量计,气体管道分为两路,一路通过手动阀门一连接电子流量计的一端,电子流量计的另一单连接手动阀门二的一端,气体管道另一路通过手动阀门三连接机械流量计的一端,机械流量计的另一端通过手动阀门四的一端,手动阀门二的另一端与手动阀门四的另一端合并为一路气体管道。同现有技术相比,在现有管路的基础上进行改进,额外增加一路,实现机械流量计与电子流量计的切换。
专利主权项内容
1.一种取片器氮气流量检测的切换装置,包括气体管道、取片器,其特征在于:所述的气体管道(1)一端连接氮气源(2),气体管道(1)另一端连接取片器,氮气源(2)与取片器之间的气体管道(1)上设有切换装置,所述的切换装置包括机械流量计(3)、电子流量计(4),气体管道分为两路,一路通过手动阀门一(5)连接电子流量计(4)的一端,电子流量计(4)的另一端连接手动阀门二(6)的一端,气体管道另一路通过手动阀门三(7)连接机械流量计(3)的一端,机械流量计(3)的另一端通过手动阀门四(8)的一端,手动阀门二(6)的另一端与手动阀门四(8)的另一端合并为一路气体管道。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种取片器氮气流量检测的切换装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420647250.3 |
| 申请日 | 2024/4/1 |
| 公告号 | CN222104811U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | G01F15/00 |
| 权利人 | 上海晶盟硅材料有限公司 |
| 发明人 | 张文; 马丹丹; 顾广安 |
| 地址 | 上海市青浦区北青公路8228号二区48号 |