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一种取片器氮气流量检测的切换装置

申请号: CN202420647250.3
申请人: 上海晶盟硅材料有限公司
更新日期: 2026-03-28

摘要文本

上海晶盟硅材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型涉及取片器技术领域,具体地说是一种取片器氮气流量检测的切换装置。包括气体管道、取片器,所述的气体管道一端连接氮气源,气体管道另一端连接取片器,氮气源与取片器之间的气体管道上设有切换装置,所述的切换装置包括机械流量计、电子流量计,气体管道分为两路,一路通过手动阀门一连接电子流量计的一端,电子流量计的另一单连接手动阀门二的一端,气体管道另一路通过手动阀门三连接机械流量计的一端,机械流量计的另一端通过手动阀门四的一端,手动阀门二的另一端与手动阀门四的另一端合并为一路气体管道。同现有技术相比,在现有管路的基础上进行改进,额外增加一路,实现机械流量计与电子流量计的切换。

专利主权项内容

1.一种取片器氮气流量检测的切换装置,包括气体管道、取片器,其特征在于:所述的气体管道(1)一端连接氮气源(2),气体管道(1)另一端连接取片器,氮气源(2)与取片器之间的气体管道(1)上设有切换装置,所述的切换装置包括机械流量计(3)、电子流量计(4),气体管道分为两路,一路通过手动阀门一(5)连接电子流量计(4)的一端,电子流量计(4)的另一端连接手动阀门二(6)的一端,气体管道另一路通过手动阀门三(7)连接机械流量计(3)的一端,机械流量计(3)的另一端通过手动阀门四(8)的一端,手动阀门二(6)的另一端与手动阀门四(8)的另一端合并为一路气体管道。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种取片器氮气流量检测的切换装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420647250.3
申请日 2024/4/1
公告号 CN222104811U
公开日 2024/12/3
IPC主分类号 G01F15/00
权利人 上海晶盟硅材料有限公司
发明人 张文; 马丹丹; 顾广安
地址 上海市青浦区北青公路8228号二区48号