一种磁传感器、其制备方法与使用方法

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1.一种磁传感器的制备方法，其特征是：具有场效应晶体管结构，包括半导体衬底，以及与半导体衬底相电连接的源极、漏极与栅极；其中，半导体衬底具有压电效应，半导体衬底上设置具有磁致伸缩性能的磁体；工作状态时，外界磁场作用于磁体，场效应晶体管的电信号发生改变，通过测试该电信号实现该外界磁场的探测；所述的磁传感器还包括基座，该基座与所述的半导体衬底构成悬臂梁结构，即，半导体衬底的一端固定在基座上，该端称为固定端，另一端为自由端；磁体设置在半导体衬底自由端的端部；源极、漏极与栅极设置在靠近半导体衬底固定端的位置；首先在衬底上采用磁控溅射的方法生长半导体材料，然后在半导体材料表面光刻基座以及半导体衬底的图案，再刻蚀除去基座图案以及半导体衬底图案以外的半导体材料，以及除去半导体衬底图案下方的衬底部分，使半导体衬底一端固定在基座上呈悬浮状；在半导体衬底上通过微加工工艺制备源极；在半导体衬底上通过微加工工艺制备漏极；在半导体衬底上通过微加工工艺制备栅极；在半导体衬底上采用磁控溅射方法沉积磁体材料，或者将磁体材料制成可涂敷材料涂敷在半导体衬底上。 关注公众号马 克 数 据 网