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一种用于成品硅棒内部裂纹缺陷检测的专用设备
申请人信息
- 申请人:大连耐视科技有限公司
- 申请人地址:116000 辽宁省大连市高新技术产业园区广贤路107号鑫奇辉办公大楼118G
- 发明人: 大连耐视科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种用于成品硅棒内部裂纹缺陷检测的专用设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420511170.5 |
| 申请日 | 2024/3/17 |
| 公告号 | CN222105360U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | G01N21/88 |
| 权利人 | 大连耐视科技有限公司 |
| 发明人 | 潘坤; 郭右利 |
| 地址 | 辽宁省大连市高新技术产业园区广贤路107号鑫奇辉办公大楼118G |
摘要文本
大连耐视科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种用于成品硅棒内部裂纹缺陷检测的专用设备，在硅棒工件(2)的长度方向错位布置至少一组红外相机和红外光源，每组的红外相机和红外光源是相对而装，分别位于硅棒工件(2)的两侧；红外相机及相对而装的光源沿硅棒工件(2)的长度方向同步移动，对硅棒工件(2)内部进行全方位扫描。本实用新型可数据连接图像处理算法的软件一起使用。低功耗(50w以下)的红外线光源不会对人体造成损伤，系统自动化程度高，可实现全自动检测，同时可以对接前后工位设备的物料输送转移；检测节拍时间短，仅需40秒可对方棒进行全范围检测；单机设备成本低。
专利主权项内容
1.一种用于成品硅棒内部裂纹缺陷检测的专用设备，其特征在于，在硅棒工件(2)的长度方向错位布置至少一组红外相机和红外光源，每组的红外相机和红外光源是相对而装，分别位于硅棒工件(2)的两侧；
红外相机沿硅棒工件(2)的长度方向同步移动，对硅棒工件(2)内部进行全方位扫描。