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加速度传感器结构与加速度传感器
申请人信息
- 申请人:苏州敏芯微电子技术股份有限公司
- 申请人地址:215123 江苏省苏州市工业园区旺家浜巷8号
- 发明人: 苏州敏芯微电子技术股份有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 加速度传感器结构与加速度传感器 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323634766.9 |
| 申请日 | 2023/12/29 |
| 公告号 | CN222105499U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | G01P15/125 |
| 权利人 | 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 |
| 发明人 | 李诺伦; 庄瑞芬; 杨进; 朱启发 |
| 地址 | 江苏省苏州市工业园区旺家浜巷8号 |
摘要文本
苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型的实施例公开了一种加速度传感器结构与加速度传感器，其中加速度传感器结构包括：衬底；可动质量块，其位于衬底的一侧；可动质量块上设有镂空槽；锚点，其容置于镂空槽内以用于支撑可动质量块；一对弹性梁组件，其容置于镂空槽内，一对弹性梁组件对称设置在锚点关于第一轴向的两侧；每个弹性梁组件包括：质量结构，其设置在锚点关于第一轴向的一侧；第一弹性梁，至少两个第一弹性梁连接锚点和质量结构；第二弹性梁，一对第二弹性梁分别对称设置在所有第一弹性梁的两侧；第二弹性梁连接质量结构与可动质量块。根据本实用新型，其避免可动质量块受到第一平面内扭转的干扰模态影响的同时，降低整体扭转刚度，提高产品灵敏度。
专利主权项内容
1.一种加速度传感器结构，其特征在于，包括：
衬底；
可动质量块，其位于所述衬底的一侧；所述可动质量块上设有镂空槽，其具有与所述衬底平行的第一平面，在所述第一平面内具有相交且垂直的第一轴向和第二轴向；
锚点，其容置于所述镂空槽内以用于支撑所述可动质量块；
一对弹性梁组件，其容置于所述镂空槽内，所述一对弹性梁组件对称设置在所述锚点关于所述第一轴向的两侧；
每个所述弹性梁组件包括：
质量结构，所述质量结构设置在所述锚点关于第一轴向的一侧；
第一弹性梁，至少两个所述第一弹性梁沿所述第二轴向延伸并连接所述锚点和所述质量结构；
第二弹性梁，一对所述第二弹性梁分别对称设置在所有所述第一弹性梁关于第二轴向的两侧，所述第二弹性梁沿所述第二轴向延伸；所述第二弹性梁连接所述质量结构与所述可动质量块。