多探针集成系统及四探针电阻测量仪

摘要文本

无锡卓海科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及晶圆检测技术领域，公开了一种多探针集成系统及四探针电阻测量仪，多探针集成系统包括固定支架、机械臂、探针支架和探针，探针支架上设置有多个探针安装位，多个探针安装位设置在以探针支架的中心为圆心的同一圆周上，且沿周向均匀布置，探针支架选择性安装一个或多个探针，不但可以实现多探针的需求，还可定制化以实现多功能的集成，同时保持多探针集成系统的平衡，延长使用寿命；机械臂的一端与固定支架连接，另一端与探针支架可转动地连接，每次转动探针支架后，能保持至少一个探针安装位垂直于晶圆，方便切换不同探针，实现多样化对晶圆的测量，结构简单，更方便工作人员对晶圆的全方面检测。