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光学系统以及检测设备

申请号: CN202420802614.0
申请人: 上海中科飞测半导体科技有限公司
更新日期: 2026-03-28

专利详细信息

项目 内容
专利名称 光学系统以及检测设备
专利类型 实用新型
申请号 CN202420802614.0
申请日 2024/4/17
公告号 CN222105753U
公开日 2024/12/3
IPC主分类号 G02B27/09
权利人 上海中科飞测半导体科技有限公司
发明人 何泊衢; 杨长英; 高志民; 王南朔; 马砚忠; 陈鲁; 张嵩
地址 上海市浦东新区中国(上海)自由贸易试验区临港新片区玉宇路1068号、飞渡路1568号、天高路1111号6幢

摘要文本

上海中科飞测半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,一种光学系统以及检测设备,涉及光学检测技术领域,光学系统包括:光源模块、至少两个视场光阑以及驱动组件,驱动组件与每个视场光阑连接,每个视场光阑的孔径大小均不相同;光源模块被配置为提供照明光束;驱动组件被配置为驱动至少一个视场光阑切入或切出光源模块的出射光路,该视场光阑被配置为限制光源模块提供的照明光束的光束尺寸。通过设置至少两个视场光阑,可以根据需要检测的结构的尺寸,通过驱动组件将对应的视场光阑切入光源模块的输出光路,实现对照明光束的尺寸调整,对最终的光斑大小进行调整。

专利主权项内容

1.一种光学系统,其特征在于,包括:光源模块(10)、至少两个视场光阑(20)以及驱动组件(24),所述驱动组件(24)与每个所述视场光阑(20)连接,每个所述视场光阑(20)的孔径大小均不相同;
所述光源模块(10)被配置为提供照明光束;
所述驱动组件(24)被配置为驱动至少一个所述视场光阑(20)切入或切出所述光源模块(10)的出射光路,该视场光阑(20)被配置为限制所述光源模块(10)提供的照明光束的光束尺寸。 微信公众号