光阻自动更换系统和涂胶显影设备

专利主权项内容

1.一种光阻自动更换系统，其特征在于，包括：
处理模块，用于分析接收的信息并发送指令；
光阻用量监测模块，与所述处理模块连接，所述光阻用量监测模块用于监测涂胶显影设备中光阻瓶的光阻用量信息并发送给所述处理模块；
光阻瓶存储模块，包括光阻瓶存放设备和自动调温单元，所述光阻瓶存放设备内存储有新光阻瓶，所述自动调温单元设置于所述光阻瓶存放设备并与所述处理模块连接，所述自动调温单元用于根据所述处理模块的调温指令调节所述光阻瓶存放设备内的温度，以使所述光阻瓶存放设备内的所述新光阻瓶提前完成退冰处理；
光阻瓶传输模块，与所述处理模块连接，所述光阻瓶传输模块用于根据所述处理模块的传输指令在所述光阻瓶存放设备和所述涂胶显影设备之间传输所述光阻瓶，所述光阻瓶包括所述新光阻瓶和空光阻瓶；
自动跑货控制模块，与所述光阻用量监测模块连接，所述自动跑货控制模块用于根据所述光阻用量信息控制所述涂胶显影设备中晶圆的传输。