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沉积装置
申请人信息
- 申请人:三星显示有限公司
- 申请人地址:韩国京畿道
- 发明人: 三星显示有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 沉积装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420283989.0 |
| 申请日 | 2024/2/6 |
| 公告号 | CN222097318U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | B41J2/01 |
| 权利人 | 三星显示有限公司 |
| 发明人 | 金在植; 成宇镛; 尹昇好; 李亨燮; 李惠珉 |
| 地址 | 韩国京畿道龙仁市 |
摘要文本
三星显示有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，沉积装置包括：腔室；沉积源，设置在腔室中；旋转板，设置在腔室中，其中，喷墨头固定到旋转板以允许喷墨头的喷嘴板与沉积源竖直地对准；以及第一驱动单元，设置在腔室内，其中，第一驱动单元使旋转板绕竖直轴线旋转。
专利主权项内容
1.一种沉积装置，其特征在于，包括：
腔室；
沉积源，设置在所述腔室中；
旋转板，设置在所述腔室中，其中，喷墨头固定到所述旋转板以允许所述喷墨头的喷嘴板与所述沉积源竖直地对准；以及
第一驱动单元，设置在所述腔室内，其中，所述第一驱动单元使所述旋转板绕竖直轴线旋转。