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一种双面镀膜的晶圆镀膜设备
摘要文本
无锡展硕科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种双面镀膜的晶圆镀膜设备，涉及晶圆镀膜技术领域，包括：镀膜腔，用于为晶圆提供镀膜时所需的空间；冷却腔，用于为晶圆提供冷却时所需的空间；冷却机构，设于冷却腔内，用于对镀膜后的晶圆进行降温；搬运机构，用于将晶圆在镀膜腔与冷却腔之间搬运；抓取机构，设于冷却腔内，用于抓取冷却机构上的晶圆；升降机构，用于驱动冷却机构与抓取机构相对运动；旋转机构，用于驱动抓取机构旋转，进而带动晶圆翻面，实现晶圆在冷却腔中被翻面，避免人工和外部设备对晶圆进行翻面作业，降低生产成本，提高生产效率，且避免晶圆在镀膜过程中被移出镀膜设备而导致的不可控风险。 来自马克数据网
专利主权项内容
1.一种双面镀膜的晶圆镀膜设备，包括：
镀膜腔，用于为晶圆提供镀膜时所需的空间；
冷却腔，用于为晶圆提供冷却时所需的空间；
冷却机构，设于所述冷却腔内，用于对镀膜后的晶圆进行降温；
其特征在于，还包括：
搬运机构，用于将晶圆在所述镀膜腔与所述冷却腔之间搬运；
抓取机构，设于所述冷却腔内，用于抓取所述冷却机构上的晶圆；
升降机构，用于驱动所述冷却机构与所述抓取机构相对运动；
旋转机构，用于驱动所述抓取机构旋转，进而带动晶圆翻面。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种双面镀膜的晶圆镀膜设备 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202323555381.3 |
| 申请日 | 2023/12/25 |
| 公告号 | CN222100120U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | C23C14/22 |
| 权利人 | 无锡展硕科技有限公司 |
| 发明人 | 吴明庆; 季中伟 |
| 地址 | 江苏省无锡市会北路26-18 |