环形磁铁阵列磁控靶

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合肥铠柏科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了环形磁铁阵列磁控靶，涉及样品溅镀技术领域，解决了现有技术磁控靶在磁控溅镀的过程中，由于该旋转靶是使用长条形磁铁的排列，仅仅适用于平面样品的镀膜，当样品为管型时，镀膜面在样品的内部时并不适用，适用性较差的技术问题；包括镀膜腔管、设置在镀膜腔管内的靶材、若干个设置在靶材内的环形磁铁和铝材隔离块、设置在靶材一端端处的阴极座、套设在阴极座上的陶瓷座螺丝隔离环与设置在靶材另一端的陶瓷座；其中，每个所述环形磁铁和铝材隔离块间隔设置；本实用新型通过变更磁铁阵列的方式，让磁力线分布在靶材全部表面，这样无需转动靶材，使得在管型样品不旋转的情況下，内部360度均能镀上薄膜，适用性更强。