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一种PVD反应装置
摘要文本
湖北江海行纳米科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种PVD反应装置,涉及镀膜技术领域,包括连接筒,连接筒的内部螺纹连接有紧固螺母一,紧固螺母一的外表面螺纹连接有夹具上板,连接筒的内部螺纹连接有紧固螺母二,紧固螺母二的外表面螺纹连接有夹具下板,紧固螺母二的外表面螺纹连接有夹具底座,夹具上板的内部转动连接有主动轮,主动轮的内部开设有固定孔。它能够通过主动轮、从动组件和套筒之间配合使用,从而能够实现齿轮之间的传动效果,将拨叉结构设计为齿轮传动,可使套筒的自转速度可控,提高镀膜的均匀性,夹具一次组装完成后,无需每次镀膜前与镀膜后安装拆卸拨叉,提高了效率,且拨叉结构设计在夹具内部,不占用镀膜室内空间,避免了干涉。
专利主权项内容
1.一种PVD反应装置,包括连接筒(1),其特征在于:所述连接筒(1)的内部螺纹连接有紧固螺母一(2),所述紧固螺母一(2)的外表面螺纹连接有夹具上板(3),所述连接筒(1)的内部螺纹连接有紧固螺母二(5),所述紧固螺母二(5)的外表面螺纹连接有夹具下板(6),所述紧固螺母二(5)的外表面螺纹连接有夹具底座(7),所述夹具上板(3)的内部转动连接有主动轮(8),所述主动轮(8)的内部开设有固定孔(4),所述主动轮(8)的外侧设有从动组件(9),所述夹具下板(6)的上方设有套筒(10)。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种PVD反应装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420830243.7 |
| 申请日 | 2024/4/19 |
| 公告号 | CN222100139U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | C23C14/50 |
| 权利人 | 湖北江海行纳米科技有限公司 |
| 发明人 | 左飞龙; 王丽; 向芯儿; 邹华威 |
| 地址 | 湖北省宜昌市长阳土家族自治县龙舟坪镇创新产业园发展大道88号 |