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一种PVD反应装置

申请号: CN202420830243.7
申请人: 湖北江海行纳米科技有限公司
更新日期: 2026-03-30

摘要文本

湖北江海行纳米科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本实用新型公开了一种PVD反应装置,涉及镀膜技术领域,包括连接筒,连接筒的内部螺纹连接有紧固螺母一,紧固螺母一的外表面螺纹连接有夹具上板,连接筒的内部螺纹连接有紧固螺母二,紧固螺母二的外表面螺纹连接有夹具下板,紧固螺母二的外表面螺纹连接有夹具底座,夹具上板的内部转动连接有主动轮,主动轮的内部开设有固定孔。它能够通过主动轮、从动组件和套筒之间配合使用,从而能够实现齿轮之间的传动效果,将拨叉结构设计为齿轮传动,可使套筒的自转速度可控,提高镀膜的均匀性,夹具一次组装完成后,无需每次镀膜前与镀膜后安装拆卸拨叉,提高了效率,且拨叉结构设计在夹具内部,不占用镀膜室内空间,避免了干涉。

专利主权项内容

1.一种PVD反应装置,包括连接筒(1),其特征在于:所述连接筒(1)的内部螺纹连接有紧固螺母一(2),所述紧固螺母一(2)的外表面螺纹连接有夹具上板(3),所述连接筒(1)的内部螺纹连接有紧固螺母二(5),所述紧固螺母二(5)的外表面螺纹连接有夹具下板(6),所述紧固螺母二(5)的外表面螺纹连接有夹具底座(7),所述夹具上板(3)的内部转动连接有主动轮(8),所述主动轮(8)的内部开设有固定孔(4),所述主动轮(8)的外侧设有从动组件(9),所述夹具下板(6)的上方设有套筒(10)。

专利申请信息

项目 内容
专利名称 一种PVD反应装置
专利类型 实用新型
申请号 CN202420830243.7
申请日 2024/4/19
公告号 CN222100139U
公开日 2024/12/3
IPC主分类号 C23C14/50
权利人 湖北江海行纳米科技有限公司
发明人 左飞龙; 王丽; 向芯儿; 邹华威
地址 湖北省宜昌市长阳土家族自治县龙舟坪镇创新产业园发展大道88号