晶棒提取保护工装及单晶炉

摘要文本

三一硅能(朔州)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及硅加工领域，提供一种晶棒提取保护工装及单晶炉，包括：护圈，设置于单晶炉的副室底部，护圈用于供晶棒穿过；至少两个限位轮，与护圈转动连接，各个限位轮沿护圈的周向间隔分布，且各个限位轮均与晶棒滚动接触；连接件，与护圈相连接，连接件用于与副室可拆卸地相连接。如此设置，当连接件与副室连接时，晶棒穿过护圈，并与各个限位轮滚动接触。由于各个限位轮可与晶棒周向相抵接，从而可有效对晶棒起到限位保护作用，防止晶棒在提出过程中发生晃动。而且无需人工介入，操作简单，使用可靠，消除人工稳定晶棒带来的弊端。同时限位轮转动设置，不会对晶棒表面造成划痕等损伤，有效保证晶棒质量。