← 返回列表
一种气相沉积炉尾气分级处理系统
申请人信息
- 申请人:湖南九山半导体科技有限公司
- 申请人地址:410205 湖南省长沙市湘江新区麓谷街道桐梓坡西路519号生产厂房B栋101一楼G柱以南
- 发明人: 湖南九山半导体科技有限公司
专利详细信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种气相沉积炉尾气分级处理系统 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420330181.3 |
| 申请日 | 2024/2/21 |
| 公告号 | CN222092827U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | B01D46/24 |
| 权利人 | 湖南九山半导体科技有限公司 |
| 发明人 | 王振兴; 刘超; 尹宜辉; 邓雄志; 王建伟 |
| 地址 | 湖南省长沙市湘江新区麓谷街道桐梓坡西路519号生产厂房B栋101一楼G柱以南 |
摘要文本
湖南九山半导体科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种气相沉积炉尾气分级处理系统，包括粉尘过滤装置和除胶装置，粉尘过滤装置包括粉尘过滤器和对粉尘过滤器加热的加热机构，除胶装置包括除胶器，粉尘过滤器的输入端连接沉积室尾气管道，输出端连接除胶器的输入端，除胶器内设置有烃类物质冷却机构，粉尘过滤器内设置有粉尘过滤筛。本实用新型通过粉尘过滤装置和除胶装置先后有效除去沉积室尾气中的粉尘颗粒和大分子烃类物质，保证真空系统的正常运行；采用分阶段除去尾气中粉尘颗粒和大分子烃类物质的方式，不会形成难清理的焦状物，便于维护清理，同时可对粉尘颗粒的主要成分炭黑进行回收。 来源：百度马 克 数据网
专利主权项内容
1.一种气相沉积炉尾气分级处理系统，其特征在于，包括粉尘过滤装置和除胶装置，所述粉尘过滤装置包括粉尘过滤器(1)和对所述粉尘过滤器(1)加热的加热机构，所述除胶装置包括除胶器(4)，所述粉尘过滤器(1)的输入端连接沉积室尾气管道(5)，输出端连接所述除胶器(4)的输入端，所述除胶器(4)内设置有烃类物质冷却机构，所述粉尘过滤器(1)内设置有粉尘过滤筛(13)。