一种PECVD尾气处理装置

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立潮半导体科技(江苏无锡)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种PECVD尾气处理装置，包括包括一次处理装置、清理组件和二次处理装置，所述一次处理装置包括处理装置本体，所述处理装置本体设置为U型，所述处理装置本体一侧竖直管上以贯穿的方式安装有进气管，所述处理装置本体另一侧竖直管上设置有出气口；所述清理组件包括推料装置，所述推料装置设置于处理装置本体底部内侧壁上，所述推料装置包括磁吸层和推料层。本实用新型通过设置U型处理装置，增加尾气与水接触的时间，尾气中的固体颗粒物在重力的作用下沉淀在处理装置内，提升了对固体颗粒物的处理效果，同时设置清理组件对沉积的固体颗粒物进行处理，确保处理装置可以持续对尾气进行处理。