喷射式单片自动清洗设备

专利主权项内容

1.一种喷射式单片自动清洗设备，其特征在于，包括内部可拆卸设置有清洗组件(2)的晶圆清洗机(1)；
所述清洗组件(2)包括顶部居中开设有清洗槽(202)的清洗台(201)，所述清洗槽(202)内可旋转设置有清洗部件(3)；
所述清洗部件(3)包括上表面呈环形阵列固定设置有承接组件(5)的装载组件(4)；
所述装载组件(4)包括顶部固定设置有装载盘(403)的旋转盘(401)，所述装载盘(403)偏离于旋转盘(401)的轴心设置；
所述承接组件(5)包括一侧开设形成有适配多种晶圆尺寸进行放置并限位的阶梯槽(502)的承接座(501)，所述阶梯槽(502)开设形成V形结构，且阶梯槽(502)的V形结构在其槽壁上对称形成有用于抵接晶圆外表面并与晶圆中心形成三角形抵接限位效果的定位凸起(503)，所述阶梯槽(502)的槽壁上对称开设有用于供清洗液溢流的溢流槽(504)。