一种残留键合丝碎屑清理装置

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烟台台芯电子科技有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种残留键合丝碎屑清理装置，属于半导体制造设备技术领域。本实用新型包括支撑机构及清理系统，清理系统包括粉尘过滤机构和吸附机构，支撑机构包括键合底座，键合底座上连接有工件定位机构，工件定位采用真空负压定位方式，清理系统还包括清屑机构，清屑机构连接在键合底座上，清屑机构包括通气部、出气部，粉尘过滤机构与吸附机构相连通，粉尘过滤机构包括多级过滤组件。本实用新型通过键合底座的支撑，减少了DBC拿取次数，降低了DBC陶瓷碎裂几率，而且工件通过真空吸附更加牢固稳定，最后通过粉尘过滤机构的多级过滤，实现DBC键合后残留金属碎屑的彻底清理，并且将洁净空气排出，不会产生二次污染。