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一种多功能晶圆清洗装置
摘要文本
上海华岭申瓷集成电路有限责任公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种多功能晶圆清洗装置，包括清洗舱、晶圆夹槽和自动刷洗组件，晶圆夹槽有若干组，间隔地固定于清洗舱底部；晶圆夹槽上方设置一凹陷底座，凹陷底座中设置有若干相互平行的导轮；每一晶圆夹槽上方对应设置一自动刷洗组件；自动刷洗组件包括升降杆和旋转刷头；旋转刷头通过升降杆与清洗舱连接；旋转刷头包括两对称设置的子刷头；清洗舱内壁设置有若干风管；清洗舱底部设置有排水阀；使用时，晶圆片竖直地夹于两子刷头之间，其下部位于凹陷底座中；刷洗完毕后风管对晶圆片进行风干。本清洗装置可同时对批量晶圆片进行水浴、刷洗和干燥。
专利主权项内容
1.一种多功能晶圆清洗装置，包括清洗舱(1)、晶圆夹槽(2)和自动刷洗组件(3)，其特征在于，所述晶圆夹槽(2)有若干组，间隔地固定于清洗舱底部；晶圆夹槽(2)上方设置一凹陷底座，所述凹陷底座中设置有若干相互平行的导轮；每一晶圆夹槽(2)上方对应设置一自动刷洗组件(3)；所述自动刷洗组件(3)包括升降杆(32)和旋转刷头(33)；所述旋转刷头(33)通过升降杆(32)与清洗舱连接；旋转刷头(33)包括两对称设置可转动的子刷头；所述清洗舱(1)内壁设置有若干风管(11)；清洗舱(1)底部设置有排水阀(12)；使用时，晶圆片竖直地夹于两子刷头之间，其下部位于所述凹陷底座中。
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种多功能晶圆清洗装置 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202421205716.0 |
| 申请日 | 2024/5/30 |
| 公告号 | CN222094266U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | B08B11/00 |
| 权利人 | 上海华岭申瓷集成电路有限责任公司 |
| 发明人 | 丁荣伟; 周军; 佘海霞; 王裕昌; 张周磊; 鲍晟 |
| 地址 | 上海市浦东新区自由贸易试验区临港新片区云水路550, 558号1幢厂房 |