吸附装置及激光加工设备

摘要文本

大族激光科技产业集团股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术， 。本申请适用于激光加工技术领域，提供一种吸附装置及激光加工设备，该吸附装置包括驱动组件、第一安装件、吸盘和定位件；第一安装件设置于驱动组件的输出端，第一安装件内设置有第一气道、第二气道和第一定位孔，驱动组件用于带动第一安装件转动；吸盘设置于第一安装件背离驱动组件的一侧，吸盘上设置有第一吸附孔和第二定位孔；第一气道的出气端位于吸盘的下方，第一吸附孔与第二气道连通；定位件穿设于第一定位孔和第二定位孔内。本申请实施例的吸盘是通过第一气道产生负压吸附固定于第一安装件，因此可以提高吸盘与第一安装件之间的间隙分布的均匀性，从而提高安装吸盘时的水平度，进而可以提高切割晶圆的良品率。