一种可翻转的碳化硅晶片双面抛光装置

专利主权项内容

1.一种可翻转的碳化硅晶片双面抛光装置，包括底座(1)、安装板(102)和固定框(107)；
所述底座(1)的顶部固定安装有固定架(101)，且安装板(102)的两侧对称安装有电动推杆(103)，并且电动推杆(103)的底部固定安装有安装架(104)，而且安装架(104)的内部固定安装有驱动电机(105)，而且驱动电机(105)的输出端穿过安装架(104)并固定安装有抛光片(106)；
其特征在于，还包括：
所述固定框(107)的两侧对称安装有转动杆(108)，且两个转动杆(108)均通过轴承与固定架(101)转动连接，并且两个转动杆(108)远离固定框(107)的一端均穿过固定架(101)并固定安装有转盘(109)，而且固定架(101)的两侧对称设置有限位组件(2)，而且固定架(101)的内部上方设置有调节组件(3)；
其中，所述限位组件(2)包括对称安装在固定架(101)两侧的两组固定板(201)，且两组固定板(201)之间均对称安装有滑杆(202)，并且滑杆(202)的外部一侧套设有滑套(203)，而且两组滑套(203)之间分别固定安装有两个限位杆(204)；
其中，两个所述限位杆(204)分别与一侧的固定板(201)滑动连接，且两个转盘(109)的两侧均对称开设有限位槽(205)，并且限位槽(205)与限位杆(204)卡合连接。