环形半导体刻蚀腔零部件加工装置

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上海卡贝尼精密陶瓷有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型提供了一种环形半导体刻蚀腔零部件加工装置，包括：工装支撑板、移动块、圆形尺寸标识环以及限位锁紧装置；所述工装支撑板上安装移动块和限位锁紧装置，所述工装支撑板上设置有圆形尺寸标识环；所述移动块允许相对所述工装支撑板滑动并通过所述限位锁紧装置固定；待加工零件放置在所述工装支撑板上并通过所述圆形尺寸标识环定位，所述移动块移动并夹持在待加工零件周侧后通过所述限位锁紧装置紧固。本申请通过环形加工装置将可变式移动部件和固定零部件进行组合固定，形成圆形状，通过转接固定锁紧可实现多种不同尺寸环形半导体零件的加工。