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一种晶圆夹具
摘要文本
菲科半导体(张家港)有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体生产技术领域，特别涉及一种晶圆夹具，包括环形底座，所述环形底座的外侧壁上开设有多个呈圆周分布的通槽，所述通槽内滑动连接有滑条，所述环形底座的上表面开设有环槽，所述环槽内滑动设置有环形齿条，所述环槽内转动设置有多个齿轮，所述齿轮与滑条一一对应，所述滑条一侧壁上设置有长齿条，所述长齿条和环形齿条均与所述齿轮啮合，所述滑条相互靠近的一端顶部设置有限位辊；本实用新型具与不同尺寸的晶圆相适配，可以有效地避免晶圆的表面受到污染。
专利主权项内容
1.一种晶圆夹具，其特征在于：包括环形底座(1)，所述环形底座(1)的外侧壁上开设有多个呈圆周分布的通槽(101)，所述通槽(101)内滑动连接有滑条(2)，所述环形底座(1)的上表面开设有环槽(102)，所述环槽(102)内滑动设置有环形齿条(3)，所述环槽(102)内转动设置有多个齿轮(4)，所述齿轮(4)与滑条(2)一一对应，所述滑条(2)一侧壁上设置有长齿条(21)，所述长齿条(21)和环形齿条(3)均与所述齿轮(4)啮合，所述滑条(2)相互靠近的一端顶部设置有限位辊(5)。 来自马-克-数-据
专利申请信息
| 项目 | 内容 |
|---|---|
| 专利名称 | 一种晶圆夹具 |
| 专利类型 | 实用新型 |
| 申请号 | CN202420817378.X |
| 申请日 | 2024/4/19 |
| 公告号 | CN222095914U |
| 公开日 | 2024/12/3 |
| IPC主分类号 | B25B11/00 |
| 权利人 | 菲科半导体(张家港)有限公司 |
| 发明人 | 戴晓松; 谭良恒; 石成林 |
| 地址 | 江苏省苏州市张家港市塘桥镇弘吴大道199号29幢 |