一种石英炉管真空炉冷却装置

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浙江浩鑫半导体材料有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型公开了一种石英炉管真空炉冷却装置，涉及真空炉技术领域，该真空炉冷却装置, 包括真空炉本体, 所述真空炉本体的顶端固定安装有两个支撑板，每个所述支撑板的顶端均活动安装有连接板，每个所述连接板的内侧均固定安装有导流板。本实用新型所述的一种石英炉管真空炉冷却装置，通过转动支撑杆，让支撑杆围绕末端进行转动，支撑杆的顶端与一侧的定位块相互的契合卡接，通过支撑杆对一侧的夹板进行水平方向的支撑，限制夹板的移动，两个夹板对连接板进行挤压固定，同时再固定连接板的过程中，连接板带动第一接头与第二接头对接，通过转动第二接头顶端的密封环，让第一接头与第二接头紧密固定。