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电容式薄膜真空计

申请号: CN202420897416.7
申请人: 拉普拉斯新能源科技股份有限公司
更新日期: 2026-04-07

专利详细信息

项目 内容
专利名称 电容式薄膜真空计
专利类型 实用新型
申请号 CN202420897416.7
申请日 2024/4/24
公告号 CN222087203U
公开日 2024/11/29
IPC主分类号 G01L21/00
权利人 拉普拉斯新能源科技股份有限公司
发明人 胡显浪; 肖四哲; 庞爱锁; 张武
地址 广东省深圳市坪山区坑梓街道吉康路1号

摘要文本

拉普拉斯新能源科技股份有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术,本申请提供了一种电容式薄膜真空计,涉及真空计量技术领域,解决了电容式薄膜真空计测量精准度较低的技术问题。该电容式薄膜真空计包括:壳体,壳体内具有容纳腔;膜片,膜片设置于容纳腔内,并与壳体形成真空腔;至少两个电极,每一电极至少部分设置于真空腔内,电极与膜片共同构成信号取样结构,每一电极包括金属块。由于金属块加工工艺简单成熟(如通过车、铣、磨等工艺加工制成),因此,相比于丝印工艺制成的电极,金属块构成的电极厚度更加均匀,工艺质量更高,从而可以提升电容式薄膜真空计的精准度。

专利主权项内容

1.一种电容式薄膜真空计,其特征在于,包括:
壳体,所述壳体内具有容纳腔;
膜片,所述膜片设置于所述容纳腔内,并与所述壳体形成真空腔;
至少两个电极,每一所述电极至少部分设置于所述真空腔内,所述电极与所述膜片共同构成信号取样结构,每一所述电极包括金属块。