检漏装置

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上海华力微电子有限公司取得“一种透气窗帘布”专利技术，本实用新型涉及半导体制造技术领域，尤其涉及一种检漏装置，用于对工艺腔体的内部阀件进行检漏，所述内部阀件与一进气管路连接并通过所述进气管路进行驱动，所述检漏装置包括氦质谱检漏仪、氦气源及氦气管路，所述氦气管路的进气口与所述氦气源连接，所述氦气管路的出气口与所述进气管路连接，所述氦质谱检漏仪与所述工艺腔体连通。通过启用所述氦气源，由所述氦气管路向所述内部阀件通入氦气，若所述氦质谱检漏仪检测到所述工艺腔体内存在氦气，则说明所述内部阀件存在泄露的情况。如此一来，能够极大地节约腔体漏点的检测时间，提高检测效率。此外，所述氦气管路只需对现有进气管路进行简单改造即可接入，操作方便，实用性强。