本发明提供了一种微电机系统装置具有第一组件和第二组件，该第一组件包括具有连接器的传感器元件，第二组件包括梳齿驱动。
梳齿驱动具有定子板和转子板，且连接器被配置成将转子板相对于定子板位移，根据转子板的位移提供可变的电容。

J.V.克拉克

珀杜研究基金会

美国印第安纳州

本发明提供了一种微电机系统装置具有第一组件和第二组件，该第一组件包括具有连接器的传感器元件，第二组件包括梳齿驱动。
梳齿驱动具有定子板和转子板，且连接器被配置成将转子板相对于定子板位移，根据转子板的位移提供可变的电容。