#
|
专利名称
|
专利号
|
申请日期
|
专利状态
|
|---|---|---|---|---|
| 1 | 有减少的应力灵敏度的微电机传感器器件和对应制造工艺 | CN201610191890.8 | 2016-03-30 | 审查中-公开 |
| 2 | 具有线性特征的微电机系统装置 | CN201280017925.6 | 2012-02-13 |
专利查询网