本发明公开了一种超声换能器件及制备方法。
超声换能器件包括基底和设置于基底上的换能结构层，换能结构层包括设置于基底上的第一电极层和位于第一电极层背离基底一侧的振膜层，第一电极层和振膜层之间形成空腔，空腔在所述基底上的正投影包括多边形区域以及位于多边形区域各条边线外侧的扇形区域。
本发明实施例通过将空腔在基底上的正投影设置为包括多边形区域以及位于多边形区域各条边线外侧的扇形区域，减少了牺牲层的刻蚀时间，增强了刻蚀时间的可控性。

孙拓

京东方科技集团股份有限公司 北京京东方技术开发有限公司

100015 北京市朝阳区酒仙桥路10号

本发明公开了一种超声换能器件及制备方法。
超声换能器件包括基底和设置于基底上的换能结构层，换能结构层包括设置于基底上的第一电极层和位于第一电极层背离基底一侧的振膜层，第一电极层和振膜层之间形成空腔，空腔在所述基底上的正投影包括多边形区域以及位于多边形区域各条边线外侧的扇形区域。
本发明实施例通过将空腔在基底上的正投影设置为包括多边形区域以及位于多边形区域各条边线外侧的扇形区域，减少了牺牲层的刻蚀时间，增强了刻蚀时间的可控性。