一种气液二相流雾化清洗方法，包括：步骤1：通过气液二相流管路向工艺腔室内通入辅助气体；步骤2：经过第一预定时间后，通过气液二相流管路向工艺腔室内通入清洗液体至预定流量，清洗液体在辅助气体的作用下形成雾化颗粒；步骤3：停止向工艺腔室内通入清洗液体；步骤4：经过第二预定时间后，停止向工艺腔室内通入辅助气体。
该方法能够有效避免液滴溅射的现象发生，降低腔室污染。

惠世鹏 滕宇 刘效岩

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一种气液二相流雾化清洗方法，包括：步骤1：通过气液二相流管路向工艺腔室内通入辅助气体；步骤2：经过第一预定时间后，通过气液二相流管路向工艺腔室内通入清洗液体至预定流量，清洗液体在辅助气体的作用下形成雾化颗粒；步骤3：停止向工艺腔室内通入清洗液体；步骤4：经过第二预定时间后，停止向工艺腔室内通入辅助气体。
该方法能够有效避免液滴溅射的现象发生，降低腔室污染。