本发明公开了一种基于可变电场的阵列管状阳极辅助激光电化学复合加工的方法及装置，涉及特种加工技术中的微细加工领域。
本发明方法为管状阳极与阴极基板之间形成电化学回路，通过电压调节控制器可调节单个管状阳极的输入电压，激光透过液晶掩膜板进入阵列分布的管状阳极，通过计算机控制液晶掩模板显示灰度图像，使激光到达加工沉积区域的轮廓与液晶掩膜板上的图像相同。
在激光辐照微区域内由于激光的热效应和力效应，大大加快了电沉积的速率。
通过管状阳极的阵列实现整个微细零部件或阵列微细结构的加工。
适用于连续性结构复杂的微细零部件或阵列微细结构的加工，应用于微机械、微机电系统、金属模板、医疗、电子、航天等微细制造等加工领域。

杨帅 张朝阳 吴予澄 王银飞 胡梦楠 徐坤

江苏大学

212013 江苏省镇江市京口区学府路301号

本发明公开了一种基于可变电场的阵列管状阳极辅助激光电化学复合加工的方法及装置，涉及特种加工技术中的微细加工领域。
本发明方法为管状阳极与阴极基板之间形成电化学回路，通过电压调节控制器可调节单个管状阳极的输入电压，激光透过液晶掩膜板进入阵列分布的管状阳极，通过计算机控制液晶掩模板显示灰度图像，使激光到达加工沉积区域的轮廓与液晶掩膜板上的图像相同。
在激光辐照微区域内由于激光的热效应和力效应，大大加快了电沉积的速率。
通过管状阳极的阵列实现整个微细零部件或阵列微细结构的加工。
适用于连续性结构复杂的微细零部件或阵列微细结构的加工，应用于微机械、微机电系统、金属模板、医疗、电子、航天等微细制造等加工领域。