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专利摘要

一种降低陶瓷表面的光电子产率(PEY)和/或二次电子产率(SEY)的方法,包括向靶(10)的表面施加包括由激光器(4)发射的一系列激光脉冲的激光辐射以在所述靶(10)的表面上产生周期性布置的结构。

专利状态

基础信息

专利号
CN201780012612.4
申请日
2017-03-08
公开日
2018-12-21
公开号
CN109070266A
主分类号
/B/B23/ 作业;运输
标准类别
机床;其他类目中不包括的金属加工
批准发布部门
国家知识产权局
专利状态
审查中-实审

发明人

阿明·阿卜杜勒凡德

申请人

敦提大学

申请人地址

英国敦提

专利摘要

一种降低陶瓷表面的光电子产率(PEY)和/或二次电子产率(SEY)的方法,包括向靶(10)的表面施加包括由激光器(4)发射的一系列激光脉冲的激光辐射以在所述靶(10)的表面上产生周期性布置的结构。

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