本发明提供基板保持装置及其制造方法。
该基板保持装置即使研磨凸部的顶部，也能够在不使加工太过困难化的前提下抑制在凸部与基板之间存在的微粒的可能性升高。
基板保持装置(100)包括：平板状的基体(10)，其具有在该基体(10)的上表面开口的通气通路(11)；以及多个凸部(20)，该多个凸部(20)自基体(10)的上表面突出形成。
凸部(20)的至少上部为截头圆锥状，凸部(20)的呈截头圆锥状的部分的底角为70°以上且85°以下。

岩渕淳寿 菊地真哉

日本特殊陶业株式会社

日本爱知县

本发明提供基板保持装置及其制造方法。
该基板保持装置即使研磨凸部的顶部，也能够在不使加工太过困难化的前提下抑制在凸部与基板之间存在的微粒的可能性升高。
基板保持装置(100)包括：平板状的基体(10)，其具有在该基体(10)的上表面开口的通气通路(11)；以及多个凸部(20)，该多个凸部(20)自基体(10)的上表面突出形成。
凸部(20)的至少上部为截头圆锥状，凸部(20)的呈截头圆锥状的部分的底角为70°以上且85°以下。