本发明涉及抛光液制备领域，特别是涉及一种钽酸锂还原片抛光液及其制备方法和用途。
本发明提供一种钽酸锂还原片抛光液，按重量百分比计，包括如下组分：液相载体35‑65%；二氧化硅颗粒15‑60%；氧化剂≤20%；亲核试剂0.005‑20%。
本发明发明人经过大量探索性实验，提供了一种新的钽酸锂还原片抛光液，所述钽酸锂还原片抛光液克服现有技术中的不足，其制备方法简单、高效。
此外，所述抛光液还通过特定的亲核试剂和氧化试剂并将他们合理组合，使得抛光液的抛光质量、抛光速率亦获得很大提升。

汪为磊 霍军朝 刘卫丽 宋志棠

浙江新创纳电子科技有限公司

314406 浙江省嘉兴市海宁市斜桥镇云星路138号

本发明涉及抛光液制备领域，特别是涉及一种钽酸锂还原片抛光液及其制备方法和用途。
本发明提供一种钽酸锂还原片抛光液，按重量百分比计，包括如下组分：液相载体35‑65%；二氧化硅颗粒15‑60%；氧化剂≤20%；亲核试剂0.005‑20%。
本发明发明人经过大量探索性实验，提供了一种新的钽酸锂还原片抛光液，所述钽酸锂还原片抛光液克服现有技术中的不足，其制备方法简单、高效。
此外，所述抛光液还通过特定的亲核试剂和氧化试剂并将他们合理组合，使得抛光液的抛光质量、抛光速率亦获得很大提升。