本发明公开了一种液态金属结构及其瞬时图案化封装方法,所述方法包括:制备图形模板;其中,图形模板上具有凹槽;采用水溶性膜封住图形模板上的凹槽;通过正压填充法或负压填充法向凹槽中填充液态金属;将填充液态金属的图形模板放入去离子水中,去除水溶性膜得到液态金属结构。
本发明中将水溶性膜设置在基板上,封住凹槽,用正压填充法或负压填充法向凹槽内注入液态金属,最后将填充液态金属的图形模板放入去离子水中去除水溶性膜,由于液态金属一直沉积在凹槽内,表面的水溶性膜不会对图案产生影响,所以液态金属图案化的分辨率很高。
周学昌 滕龙 甘田生 周小虎
深圳大学
518060 广东省深圳市南山区南海大道3688号
本发明公开了一种液态金属结构及其瞬时图案化封装方法,所述方法包括:制备图形模板;其中,图形模板上具有凹槽;采用水溶性膜封住图形模板上的凹槽;通过正压填充法或负压填充法向凹槽中填充液态金属;将填充液态金属的图形模板放入去离子水中,去除水溶性膜得到液态金属结构。
本发明中将水溶性膜设置在基板上,封住凹槽,用正压填充法或负压填充法向凹槽内注入液态金属,最后将填充液态金属的图形模板放入去离子水中去除水溶性膜,由于液态金属一直沉积在凹槽内,表面的水溶性膜不会对图案产生影响,所以液态金属图案化的分辨率很高。