一种力量传感器包含一第一基板、一第二基板、一第三基板以及一封装体。
第一基板包含一固定电极、至少一第一导电接点以及至少一第二导电接点。
第二基板设置于第一基板，并与第一基板的第一导电接点电性连接。
第二基板包含一微机电系统组件，其与固定电极相对应。
第三基板设置于第二基板上，且包含一凸柱，其与微机电系统组件连接。
封装体则覆盖第三基板。
上述力量传感器具有较佳的可靠度。

曾立天 钱元晧 郭致良 叶裕德

苏州明皜传感科技有限公司

215123 江苏省苏州市苏州工业园区星湖街218号生物纳米园A4楼509室

一种力量传感器包含一第一基板、一第二基板、一第三基板以及一封装体。
第一基板包含一固定电极、至少一第一导电接点以及至少一第二导电接点。
第二基板设置于第一基板，并与第一基板的第一导电接点电性连接。
第二基板包含一微机电系统组件，其与固定电极相对应。
第三基板设置于第二基板上，且包含一凸柱，其与微机电系统组件连接。
封装体则覆盖第三基板。
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