本发明提供一种MEMS器件及其制作方法、显示基板，该MEMS器件的制作方法包括：提供玻璃基板；在所述玻璃基板上形成MEMS元件，所述MEMS元件包括振膜层以及用于为所述振膜层提供振动空间的空腔。
本发明中，能够在显示领域所用的玻璃基板上实现大型阵列式振膜类MEMS器件，降低MEMS器件制作成本，同时，也有利于振膜类MEMS器件与玻璃基板上的显示模组的集成。

陶永春

京东方科技集团股份有限公司

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本发明提供一种MEMS器件及其制作方法、显示基板，该MEMS器件的制作方法包括：提供玻璃基板；在所述玻璃基板上形成MEMS元件，所述MEMS元件包括振膜层以及用于为所述振膜层提供振动空间的空腔。
本发明中，能够在显示领域所用的玻璃基板上实现大型阵列式振膜类MEMS器件，降低MEMS器件制作成本，同时，也有利于振膜类MEMS器件与玻璃基板上的显示模组的集成。