本发明提出了一种柔性微流管道气体流量传感器及其制备方法、使用方法，与已有的技术相比较，柔性微流管道气体流量传感器，包括硅基底层，硅基底层的上侧设置有PDMS微流管道层，PDMS微流管道层上设置有超表面结构层，PDMS微流管道层和超表面结构层的上侧设置有PDMS保护层。
本发明制备方法较为简单，操作方便，且成本低廉，能够在高温、黑暗、狭窄等复杂环境下进行管道气体微流量测试。

李顺方 郭海中 相文峰 黄晓炜 刘旋

郑州大学

450001 河南省郑州市高新区科学大道100号

本发明提出了一种柔性微流管道气体流量传感器及其制备方法、使用方法，与已有的技术相比较，柔性微流管道气体流量传感器，包括硅基底层，硅基底层的上侧设置有PDMS微流管道层，PDMS微流管道层上设置有超表面结构层，PDMS微流管道层和超表面结构层的上侧设置有PDMS保护层。
本发明制备方法较为简单，操作方便，且成本低廉，能够在高温、黑暗、狭窄等复杂环境下进行管道气体微流量测试。