本发明提出一种MEMS电容式流量传感器，包括：衬底；绝缘层，所述绝缘层设置在所述衬底上；第一电极、第二电极，所述第一电极、第二电极间隔设置在所述绝缘层上；微流道，所述微流道设置在所述绝缘层上；其中，所述微流道包括弧形的底壁，所述底壁包括第一介质层、第二介质层，以及夹设在所述第一介质层、所述第二介质层之间的第三电极；所述第三电极分别与所述第一电极、第二电极构成所述MEMS电容式流量传感器的第一敏感电容、第二敏感电容。
本发明的传感器具有高线性度、高灵敏度的优点；且可采用MEMS加工工艺进行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制备。

李维平 兰之康

南京高华科技股份有限公司

210049 江苏省南京市经济开发区栖霞大道66号

本发明提出一种MEMS电容式流量传感器，包括：衬底；绝缘层，所述绝缘层设置在所述衬底上；第一电极、第二电极，所述第一电极、第二电极间隔设置在所述绝缘层上；微流道，所述微流道设置在所述绝缘层上；其中，所述微流道包括弧形的底壁，所述底壁包括第一介质层、第二介质层，以及夹设在所述第一介质层、所述第二介质层之间的第三电极；所述第三电极分别与所述第一电极、第二电极构成所述MEMS电容式流量传感器的第一敏感电容、第二敏感电容。
本发明的传感器具有高线性度、高灵敏度的优点；且可采用MEMS加工工艺进行高精度、高一致性、低成本、批量化和微型化的制备。