本发明提供了一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法，包括：基底；CPW结构，位于所述基底上；悬臂梁结构，设置在所述CPW结构上；驱动电极，设置在所述基底上，位于所述悬臂梁结构的悬臂梁的下方；以及充电结构，包括充电介质层以及压焊块，所述充电介质层设置在所述驱动电极上，所述充电介质层位于所述悬臂梁的下方；所述压焊块通过金属连接线与所述驱动电极连接。
本发明的一种可重构驱动电压RF MEMS开关，通过增加充电介质层(隧穿层/陷阱层/阻挡层)能够捕获并存储电荷，对充电介质层进行“充电”可使其形成“附加电源”，从而在不改变开关原有结构参数的条件下实现RF MEMS开关的驱动电压的降低。

黄晓东 郑从兵 张志强 韩磊

东南大学

210096 江苏省南京市玄武区四牌楼2号

本发明提供了一种可重构驱动电压RF MEMS开关及其制造方法，包括：基底；CPW结构，位于所述基底上；悬臂梁结构，设置在所述CPW结构上；驱动电极，设置在所述基底上，位于所述悬臂梁结构的悬臂梁的下方；以及充电结构，包括充电介质层以及压焊块，所述充电介质层设置在所述驱动电极上，所述充电介质层位于所述悬臂梁的下方；所述压焊块通过金属连接线与所述驱动电极连接。
本发明的一种可重构驱动电压RF MEMS开关，通过增加充电介质层(隧穿层/陷阱层/阻挡层)能够捕获并存储电荷，对充电介质层进行“充电”可使其形成“附加电源”，从而在不改变开关原有结构参数的条件下实现RF MEMS开关的驱动电压的降低。