一种基于液态金属的物理锁存MEMS开关，采用电热驱动的原理，包括盖板、金属液滴和开关驱动装置，盖板以玻璃为基底其上制作有SU8胶结构，金属液滴封装在在盖板的套筒和驱动装置的储液槽之间，盖板和开关驱动装置涂胶结合在一起；开关的固定电极与金属液滴始终保持接触，可动电极可在电热效应下产生直线位移与金属液滴接触或分离，从而使开关电路导通或断开；驱动装置设计有物理锁存结构，通过限位杆和楔形滑块的时序动作和配合可实现开关的锁定和解锁；本发明具有导通状态稳定、接触电阻低、功耗低和环保等特点。

胡腾江 曹彤彤 赵玉龙 王柯心

西安交通大学

710049 陕西省西安市碑林区咸宁西路28号

一种基于液态金属的物理锁存MEMS开关，采用电热驱动的原理，包括盖板、金属液滴和开关驱动装置，盖板以玻璃为基底其上制作有SU8胶结构，金属液滴封装在在盖板的套筒和驱动装置的储液槽之间，盖板和开关驱动装置涂胶结合在一起；开关的固定电极与金属液滴始终保持接触，可动电极可在电热效应下产生直线位移与金属液滴接触或分离，从而使开关电路导通或断开；驱动装置设计有物理锁存结构，通过限位杆和楔形滑块的时序动作和配合可实现开关的锁定和解锁；本发明具有导通状态稳定、接触电阻低、功耗低和环保等特点。