本发明披露一种图案形成设备，包括：衬底保持器，所述衬底保持器被构造成支撑衬底；粒子产生装置，所述粒子产生装置被配置成在所述图案形成设备中产生粒子，所述粒子产生装置被配置成将所述粒子淀积至所述衬底上以在所述衬底上形成粒子层；和所述图案形成设备中的图案发生器，所述图案发生器被配置成将所述图案形成设备中的图案施加至所述淀积的粒子层。

P·W·H·德贾格 R·A·J·范德韦尔 M·J·E·范德穆尔代克 P·A·莫里

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荷兰维德霍温

本发明披露一种图案形成设备，包括：衬底保持器，所述衬底保持器被构造成支撑衬底；粒子产生装置，所述粒子产生装置被配置成在所述图案形成设备中产生粒子，所述粒子产生装置被配置成将所述粒子淀积至所述衬底上以在所述衬底上形成粒子层；和所述图案形成设备中的图案发生器，所述图案发生器被配置成将所述图案形成设备中的图案施加至所述淀积的粒子层。