本发明公开一种酸性蚀刻液再生回用系统，所述酸性蚀刻液再生回用系统包括：蚀刻工位，所述蚀刻工位设有相连通的蚀刻机缸和废液收集桶；电解工位，所述电解工位设有电解装置，所述电极装置包括由隔膜分隔的阳极室和阴极室，所述阴极室连通于所述废液收集桶；以及再生工位，所述再生工位设有相连通的再生子液调配缸和再生子液吸收桶，所述再生子液调配缸连通于所述阴极室，所述再生子液吸收桶连通于所述阳极室和所述蚀刻机缸。
本发明的技术方案提升再生液回用率，并且减少再生回用系统中配制再生子液时加入的补加剂量，从而有效地避免了蚀刻液体积膨胀的现象发生。

李再强 黄文涛 张伟奇

深圳市祺鑫环保科技有限公司

518101 广东省深圳市宝安区福海街道塘尾社区南玻大道富华工业区第10栋厂房201

本发明公开一种酸性蚀刻液再生回用系统，所述酸性蚀刻液再生回用系统包括：蚀刻工位，所述蚀刻工位设有相连通的蚀刻机缸和废液收集桶；电解工位，所述电解工位设有电解装置，所述电极装置包括由隔膜分隔的阳极室和阴极室，所述阴极室连通于所述废液收集桶；以及再生工位，所述再生工位设有相连通的再生子液调配缸和再生子液吸收桶，所述再生子液调配缸连通于所述阴极室，所述再生子液吸收桶连通于所述阳极室和所述蚀刻机缸。
本发明的技术方案提升再生液回用率，并且减少再生回用系统中配制再生子液时加入的补加剂量，从而有效地避免了蚀刻液体积膨胀的现象发生。