本发明提供了一种单纳米丝器件的制备方法，包括步骤：将纳米丝束放置于无水乙醇中，得到混有纳米丝束的无水乙醇；超声处理无水乙醇，得到混有散状纳米丝束的乙醇溶液；将该乙醇溶液滴于载体表面；在载体表面覆盖掩模板；对载体覆盖有掩模板的一面进行磁控溅射处理，在载体表面形成金属层；取下掩模板，得到单纳米丝器件。
本发明的有益效果在于：通过利用掩模板结合磁控溅射的方法将纳米丝固定得到微/纳米丝器件，避免了复杂的光刻过程，也避免了纳米丝在FIB蒸镀电极过程中受到污染，本微/纳米丝器件的制备方法简便，制成的微/纳米丝器件稳定可靠，可直接应用于相应的气敏测试、光电测试等，极大地方便了对微/纳米丝物理性质的研究工作。

翟广志 赵志龙 高建军 刘文斌 马小虎

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本发明提供了一种单纳米丝器件的制备方法，包括步骤：将纳米丝束放置于无水乙醇中，得到混有纳米丝束的无水乙醇；超声处理无水乙醇，得到混有散状纳米丝束的乙醇溶液；将该乙醇溶液滴于载体表面；在载体表面覆盖掩模板；对载体覆盖有掩模板的一面进行磁控溅射处理，在载体表面形成金属层；取下掩模板，得到单纳米丝器件。
本发明的有益效果在于：通过利用掩模板结合磁控溅射的方法将纳米丝固定得到微/纳米丝器件，避免了复杂的光刻过程，也避免了纳米丝在FIB蒸镀电极过程中受到污染，本微/纳米丝器件的制备方法简便，制成的微/纳米丝器件稳定可靠，可直接应用于相应的气敏测试、光电测试等，极大地方便了对微/纳米丝物理性质的研究工作。